1、找到真空泵放油口，放出真空泵油。
2、关闭放油口，打开加油口，加入适量的真空泵油。
3、开机运转机器2-3次。
4、重新放出真空泵油及加入新真空泵油。
5、通过2-3次的放油、换油作业，达到清洗真空泵内部的目的。
6、找到真空泵滤芯装置处。 并拆下滤芯。
7、使用真空泵油进行浸泡，然后使用合适的气压进行吹洗。
在清洗真空机的真空泵时，我们需要注意以下几点事项：
1、清洗使用的溶剂宜为真空泵油而非其它的清洗溶剂。
2、滤芯更换注意密封件等零部件不要丢失。
3、每次加真空泵油不宜过多，加至油位线一半位置即可，防止加注过多而喷出。
4、清洗好的滤芯要放干， 未干宜导致内部的油体喷出。